中國(guó)報(bào)告大廳網(wǎng)訊,——寧夏創(chuàng)盛60萬(wàn)片碳化硅晶體項(xiàng)目奠基加速第三代半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程
當(dāng)前,全球碳化硅晶體材料市場(chǎng)需求持續(xù)攀升,中國(guó)在"雙碳"戰(zhàn)略推動(dòng)下,通過(guò)優(yōu)化產(chǎn)業(yè)政策環(huán)境和強(qiáng)化技術(shù)研發(fā)投入,正加速構(gòu)建以8英寸及以上大尺寸碳化硅晶體為核心的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。作為西部地區(qū)重要節(jié)點(diǎn),寧夏銀川經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)近期啟動(dòng)的年產(chǎn)60萬(wàn)片8英寸碳化硅襯底配套晶體項(xiàng)目,標(biāo)志著我國(guó)在第三代半導(dǎo)體核心材料領(lǐng)域取得關(guān)鍵突破,為全球新能源產(chǎn)業(yè)提供"中國(guó)方案"。

2025年國(guó)家對(duì)第三代半導(dǎo)體的扶持政策進(jìn)入深化階段,通過(guò)專(zhuān)項(xiàng)基金支持、稅收優(yōu)惠和產(chǎn)業(yè)鏈配套獎(jiǎng)勵(lì)等組合拳,推動(dòng)碳化硅晶體制造向規(guī)?;⒏叨嘶l(fā)展。銀川經(jīng)開(kāi)區(qū)依托"雙示范市"建設(shè)契機(jī),在土地供給、能源保障和人才引進(jìn)方面提供全周期服務(wù),為60萬(wàn)片碳化硅晶體項(xiàng)目的落地創(chuàng)造了年產(chǎn)能達(dá)15億元的產(chǎn)業(yè)承載空間。政策與市場(chǎng)的雙重驅(qū)動(dòng)下,我國(guó)碳化硅晶體良品率已提升至92%,關(guān)鍵設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)85%。
寧夏創(chuàng)盛項(xiàng)目采用創(chuàng)新式晶體生長(zhǎng)工藝,在8英寸碳化硅單晶襯底生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)晶體厚度誤差≤10μm、微管密度<1cm?2的行業(yè)領(lǐng)先指標(biāo)。通過(guò)優(yōu)化晶體定向精度和熱場(chǎng)設(shè)計(jì),成功將籽晶直徑擴(kuò)大至25mm,使單位爐次產(chǎn)出提升30%。企業(yè)同步推進(jìn)晶體切割、研磨、拋光全流程技術(shù)升級(jí),在金剛線(xiàn)切割工藝中引入智能張力控制系統(tǒng),較傳統(tǒng)方法降低材料損耗18%,為光伏逆變器、電動(dòng)汽車(chē)充電樁等應(yīng)用提供高導(dǎo)熱率(≥4.9 W/m·K)的優(yōu)質(zhì)襯底。
該項(xiàng)目投產(chǎn)后將形成完整的"晶體生長(zhǎng)-外延制備-器件封裝"產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán),預(yù)計(jì)帶動(dòng)上下游企業(yè)投資超50億元。銀川經(jīng)開(kāi)區(qū)通過(guò)建設(shè)半導(dǎo)體專(zhuān)用氣體供應(yīng)基地和再生晶圓清洗中心,使碳化硅晶體加工本地配套率提升至76%。在技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)方面,當(dāng)?shù)貦C(jī)構(gòu)正牽頭制定《碳化硅晶體材料缺陷分級(jí)規(guī)范》等3項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),推動(dòng)國(guó)內(nèi)企業(yè)在全球市場(chǎng)中的話(huà)語(yǔ)權(quán)從12%提升至28%。
項(xiàng)目規(guī)劃采用光伏直供電系統(tǒng)和余熱回收裝置,在晶體生長(zhǎng)環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)單位能耗降低40%,配合AI驅(qū)動(dòng)的工藝參數(shù)優(yōu)化系統(tǒng),使設(shè)備綜合效率(OEE)達(dá)到91%。通過(guò)構(gòu)建"數(shù)字孿生+物聯(lián)網(wǎng)"平臺(tái),實(shí)時(shí)監(jiān)控328臺(tái)晶體生長(zhǎng)爐的溫度梯度、氣壓波動(dòng)等關(guān)鍵參數(shù),確保每批次產(chǎn)品一致性誤差<5%。這些創(chuàng)新實(shí)踐將為我國(guó)實(shí)現(xiàn)碳化硅晶體年產(chǎn)能突破400萬(wàn)片目標(biāo)奠定技術(shù)基礎(chǔ)。
展望:
寧夏創(chuàng)盛項(xiàng)目的開(kāi)工建設(shè)不僅驗(yàn)證了中國(guó)在8英寸碳化硅晶體領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力,更通過(guò)政策引導(dǎo)、技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)鏈整合的三維驅(qū)動(dòng)模式,為全球半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)注入新動(dòng)能。隨著2025年廈門(mén)國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇等平臺(tái)加速技術(shù)交流,我國(guó)有望在晶體生長(zhǎng)速度(突破1.2mm/h)、缺陷密度控制等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)更多原創(chuàng)性突破,推動(dòng)碳化硅器件成本降至傳統(tǒng)Si基產(chǎn)品的60%,真正開(kāi)啟新能源時(shí)代的"中國(guó)智造"新紀(jì)元。
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