一、中國(guó)碳化硅外延爐市場(chǎng)現(xiàn)狀及產(chǎn)業(yè)動(dòng)態(tài)

  中國(guó)報(bào)告大廳網(wǎng)訊，截至2025年7月，我國(guó)碳化硅（SiC）外延爐市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。數(shù)據(jù)顯示，2023年中國(guó)碳化硅外延爐行業(yè)規(guī)模已突破15億元，預(yù)計(jì)到2026年將增至21.66億元，主要得益于新能源汽車、光伏逆變器等下游需求的快速釋放。當(dāng)前國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程加速，襯底片產(chǎn)能提升帶動(dòng)設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)，但海外四大龍頭仍占據(jù)全球80%以上的碳化硅外延設(shè)備份額。國(guó)內(nèi)企業(yè)如晶盛機(jī)電、北方華創(chuàng)正通過(guò)技術(shù)突破搶占市場(chǎng)份額，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。

  二、碳化硅外延爐行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模與驅(qū)動(dòng)因素分析

  1. 市場(chǎng)需求驅(qū)動(dòng)增長(zhǎng)

  碳化硅外延爐是制造SiC器件的核心設(shè)備，其性能直接影響襯底質(zhì)量。隨著新能源汽車對(duì)高效功率半導(dǎo)體的需求激增（如特斯拉Model 3已全面采用SiC模塊），全球碳化硅芯片產(chǎn)能擴(kuò)張加速，帶動(dòng)外延爐需求攀升。預(yù)計(jì)2025-2031年，中國(guó)碳化硅外延爐市場(chǎng)規(guī)模將以復(fù)合增長(zhǎng)率約9%持續(xù)擴(kuò)容。

  2. 國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程提速

  海外廠商如日本NuFlare、法國(guó)LPE面臨產(chǎn)能瓶頸，交貨周期長(zhǎng)達(dá)18個(gè)月以上。國(guó)內(nèi)企業(yè)通過(guò)自主研發(fā)突破技術(shù)壁壘，例如晶盛機(jī)電已實(shí)現(xiàn)6-8英寸碳化硅外延設(shè)備量產(chǎn)，并布局12英寸大硅片配套裝備。截至2024年9月，其半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)收入超百億元，驗(yàn)證了國(guó)產(chǎn)替代的可行性。

  三、全球碳化硅外延爐市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局與挑戰(zhàn)

  1. 海外壟斷與本土突圍并存

  全球市場(chǎng)仍由NuFlare、LPE等四家國(guó)際廠商主導(dǎo)，但國(guó)內(nèi)企業(yè)正通過(guò)差異化競(jìng)爭(zhēng)搶占份額。例如北方華創(chuàng)的碳化硅外延設(shè)備已進(jìn)入頭部功率器件廠商供應(yīng)鏈，其產(chǎn)品良率接近國(guó)際水平。

  2. 技術(shù)瓶頸與產(chǎn)能缺口

  盡管國(guó)產(chǎn)設(shè)備在部分參數(shù)（如溫度均勻性、工藝穩(wěn)定性）上仍落后于海外龍頭，但通過(guò)政府專項(xiàng)補(bǔ)貼和企業(yè)研發(fā)投入，技術(shù)差距正快速縮小。預(yù)計(jì)到2031年，中國(guó)企業(yè)在6英寸碳化硅外延爐領(lǐng)域的市占率將提升至40%以上。

  四、重點(diǎn)企業(yè)戰(zhàn)略布局與競(jìng)爭(zhēng)力分析

  1. 晶盛機(jī)電：全產(chǎn)業(yè)鏈布局先行者

  作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備龍頭，其碳化硅業(yè)務(wù)覆蓋晶體生長(zhǎng)、切片、拋光到外延環(huán)節(jié)。2024年前三季度營(yíng)收達(dá)144.8億元，研發(fā)投入占比超6%，重點(diǎn)突破8英寸SiC外延爐技術(shù)，計(jì)劃于2025年底前實(shí)現(xiàn)小批量交付。

  2. 北方華創(chuàng)：泛半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)化發(fā)展

  依托刻蝕、沉積等成熟技術(shù)積累，北方華創(chuàng)將碳化硅外延設(shè)備作為第二增長(zhǎng)曲線。其最新機(jī)型可支持4英寸至8英寸襯底，并通過(guò)與中科院合作開(kāi)發(fā)新型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，降低能耗20%。

  3. 恒普股份：差異化競(jìng)爭(zhēng)策略

  專注于高端碳化硅長(zhǎng)晶爐和外延設(shè)備，采用磁控濺射輔助工藝提升薄膜均勻性。其客戶包括多家歐洲SiC芯片制造商，在海外市場(chǎng)份額達(dá)15%，成為國(guó)產(chǎn)設(shè)備出海的代表案例。

  五、2025-2031年行業(yè)趨勢(shì)與投資機(jī)遇

  未來(lái)五年，碳化硅外延爐市場(chǎng)將呈現(xiàn)以下特征：

  中國(guó)碳化硅外延爐行業(yè)正處于技術(shù)突破與市場(chǎng)爆發(fā)的關(guān)鍵期。盡管面臨海外巨頭的激烈競(jìng)爭(zhēng)和核心技術(shù)攻關(guān)壓力，但依托政策支持、本土產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同及頭部企業(yè)的研發(fā)投入，國(guó)產(chǎn)設(shè)備有望在2031年前實(shí)現(xiàn)全球市占率突破30%的目標(biāo)。隨著新能源汽車滲透率超40%，光伏逆變器SiC滲透率從當(dāng)前5%提升至20%，行業(yè)將迎來(lái)黃金發(fā)展窗口期，重點(diǎn)企業(yè)需加速工藝創(chuàng)新與產(chǎn)能布局以鞏固優(yōu)勢(shì)地位。

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